在真空條件下現(xiàn)已進(jìn)行了許多工業(yè)進(jìn)程。線性和旋轉(zhuǎn)調(diào)度組織有必要極點(diǎn)準(zhǔn)確和可靠地作業(yè)，幾乎不需求保護(hù)，也很少呈現(xiàn)缺點(diǎn)。在真空中運(yùn)用電動(dòng)機(jī)時(shí)，用戶有必要考慮許多要素。
假定您想自動(dòng)化真空進(jìn)程，那么運(yùn)用標(biāo)準(zhǔn)組件就不會(huì)太悠遠(yuǎn)。高低溫步進(jìn)電機(jī)會(huì)污染顆粒和分子沉積物，然后污染真空。比如潤(rùn)滑劑，粘合劑，絕緣材料和電路板材料之類(lèi)的有機(jī)物質(zhì)的放氣會(huì)凝結(jié)在真空室或靈敏的測(cè)量?jī)x器上加工的工件上。
作為一種風(fēng)聞廉價(jià)的處理方案，標(biāo)準(zhǔn)電動(dòng)機(jī)一般設(shè)備在真空室內(nèi)。這些經(jīng)過(guò)軸穿通驅(qū)動(dòng)腔室內(nèi)的機(jī)械師。乍一看節(jié)省了空間?？墒?，要完畢多維運(yùn)動(dòng)的自動(dòng)化，確實(shí)會(huì)變得困難。假定您費(fèi)心腸運(yùn)用導(dǎo)鏈和雜亂的機(jī)械設(shè)備，那么所取得的空間將很快消失。
運(yùn)用高低溫步進(jìn)電機(jī)和軸套也有很大的風(fēng)險(xiǎn)。襯套自身的密封是一個(gè)磨損點(diǎn)。在最壞的情況下，真空會(huì)不受控制地遭到干擾，而且整個(gè)產(chǎn)品批次都會(huì)在此進(jìn)程中被損壞。效果，不只有必要替換走漏的襯套-還有必要重建腔室內(nèi)的真空。
輕松施行多軸力學(xué)
在國(guó)際研討中，真空技能現(xiàn)已運(yùn)用了數(shù)十年。高低溫步進(jìn)電機(jī)是在真空中作業(yè)的，這使得軸穿通成為剩余，缺點(diǎn)很少產(chǎn)生。例如，在馬克斯·普朗克地球物理研討所的大型真空體系中，研討組織的時(shí)間急迫，迫使人們有必要運(yùn)用缺點(diǎn)安全處理方案。
現(xiàn)在，工業(yè)界也對(duì)此感興趣，這不只是本錢(qián)問(wèn)題。體系規(guī)劃和設(shè)備大大簡(jiǎn)化，防止的停機(jī)時(shí)間和保護(hù)本錢(qián)也相當(dāng)可觀。運(yùn)用真空馬達(dá)，即使是雜亂的多軸機(jī)械設(shè)備也可以輕松完畢，例如用于電子顯微鏡的被檢樣品的x，y，z辦法。
直接在真空中運(yùn)用具有許多利益，但對(duì)驅(qū)動(dòng)器也有特別要求。發(fā)動(dòng)機(jī)有必要以低排放，細(xì)微而高精度的辦法作業(yè)。因而，高分辨率混合式高低溫步進(jìn)電機(jī)特別合適。它們可以準(zhǔn)確，動(dòng)態(tài)地定位，而不會(huì)使反響電子設(shè)備放氣，而且由于其安靖的結(jié)構(gòu)，它們?yōu)闃O點(diǎn)的環(huán)境條件做好了準(zhǔn)備。為了延伸運(yùn)用壽數(shù)并盡可能下降脫氣率，運(yùn)用了優(yōu)質(zhì)材料作為絕緣材料和特別潤(rùn)滑劑。根據(jù)真空等級(jí)和方案的占空比，一些制造商還供應(yīng)優(yōu)化的調(diào)度進(jìn)程。